MicroProf
Rodzina systemów metrologicznych MicroProf firmy FTR oferuje szybkie, bezstykowe i niezwykle dokładne pomiary powierzchni zgodnie z normami DIN-ISO oraz standardem SEMI.
Seria MicroProf została zaprojektowana z myślą o klientach przemysłowych i każdym rodzaju badań.
Cechą charakterystyczną jest łatwość obsługi oraz elastyczność układu optycznego, która umożliwia pomiary próbek każdego rodzaju w tym próbki o bardzo niskim współczynniku odbicia światła < 0,01% lub próbki pół-przeźroczyste takie jak cienkie warstwy tlenkowe.
Wszystkie urządzenia w serii umożliwiają zautomatyzowany pomiar próbek o następujących wymiarach:
MicroProf100 – 150 mm x 100 mm
MicroProf200 – 250 mm x 200 mm
MicroProf300 – 415 mm x 305 mm
Wszystkie urządzenia z serii MicroProf posiadają zaawansowane metrologiczną głowic pomiarowe, które można wyposażyć w kilka typów sensorów w tym w sensor konfokalny, interferencyjny światła białego oraz sensor konfokalnej aberracji chromatycznej światła białego a także mikroskop sił atomowych.
System MicroProf pracuje w oparciu o autorskie i autonomiczne oprogramowanie FRT MARK III, które zawiera standardowe moduły analityczne potrzebne podczas analizy zebranych danych.
Doposażenie
Konfokalne sensory aberracji chromatycznej światła białego o różnym zakresie pomiarowym 100 µm, 300 µm, 600 µm, 1000 µm, 3000 µm and 10000 µm
Mikroskop konfokalny (spinning disk) połączony z interferometrem – TopoDT
Mikroskop Interferencyjny WLI-FL
Moduł termiczny pozwalający na pomiar próbki utrzymywanej w temperaturze z zakresu RT -400 OC
Sensory podczerwieni przeznczone do pomiaru grubości warstwy – FRT IRT
Mikroskop sił atomowych AFM
Opcja TTV pozwalająca na jednoczesny pomiar próbki od góry i od dołu dla pomiaru ugięcia oraz grubości podłoża.
Broszura informacyjna do pobrania.
Specjalizujemy się w dziedzinie mikroskopii elektronowej oraz rozwiązaniach dedykowanych do preparatyki próbek mikroskopowych. Skontaktuj się z naszymi specjalistami, w celu doboru optymalnego rozwiązania:
PIK INSTRUMENTS
tel: +48 22 726 74 96
e-mail: kontakt@pik-instruments.pl
ul. Gen. L. Okulickiego 5F
05-500 Piaseczno, Polska
pon-pt: 08:00 – 16:00