Charakterystyka CrossBeam
Technologia CrossBeam jest połączeniem skaningowej mikroskopii jonowej (FIB) i wysokopróżniowej skaningowej mikroskopii elektronowej z emisją polową (SEM FE). Nazwa technologii pochodzi od krzyżujących się wiązek w komorze mikroskopu. Do analizy wykorzystywana jest zogniskowana wiązka jonów galu (FIB) oraz wiązka elektronów (SEM FE). Źródłem jonów jest płynny gal, natomiast elektrony emitowane są przez tzw. zimną katodę.
Zalety i wady CrossBeam
Zaletą systemy CrossBeam jest możliwość wyboru rodzaju sondy i regulowania napięcia prądu w czasie rzeczywistym. System pozwala na prowadzenie doświadczeń długoterminowych dzięki zapewnieniu jednolitego profilu wiązki przez długi okres czasu. Przygotowanie próbki i jej analiza w jednym urządzeniu pozwala zredukować koszty i czas analizy. Mikroskopy SEM FE mają dużą zdolność rozdzielczą.
Wadą zastosowania systemu SEM FE jest bezwzględny wymóg pracy w wysokiej próżni oraz podatność na wpływ czynników zewnętrznych takich jak drgania mechaniczne czy pole magnetyczne.
Zastosowanie CrossBeam
Wykorzystywany jest do pokrywania cienką warstwą materiałów oraz ścieniania jonowego. Stosowany jest zatem do przygotowywania preparatów TEM oraz STEM, przygotowywania przekrojów lub trawienia. Ścienianie za pomocą wiązki jonów znajduje zastosowanie w preparatyce próbek dla których inne metody są nieprzydatne np. materiały ceramiczne. SEM pozwala kontrolować proces przygotowania preparatów, co przyspiesza pracę.
Może być wykorzystany do analizy zarówno materiału biologicznego jak i obiektów materii nieożywionej. Umożliwia wykonanie analizy pierwiastków śladowych, cienkich folii, półprzewodników lub ogniw słonecznych, wykrywanie izotopów, analizę struktury krystalicznej oraz uzyskanie unikatowych danych 3D.
Obrazowanie
CrossBeam pozwala na obrazowanie obiektu za pomocą zogniskowanej wiązki jonów lub wiązki elektronów. Obrazowanie jest możliwe dzięki detekcji sygnału emitowanego przez elektrony wtórne i wstecznie rozproszone.
Obrazy trójwymiarowe pozwalają na uzyskanie większej ilości informacji o budowie i właściwościach próbki. Przestrzenny wzór obiektu powstaje na podstawie uzyskanej serii obrazów 2D. Dwuwymiarowe obrazy kolejnych warstw obiektu, odsłanianych za pomocą wiązki jonów, uzyskiwane są poprzez skanowanie wiązką elektronów.