PROFILOMETR OPTYCZNY

Rodzina systemów metrologicznych MicroProffirmy FTR oferuje szybkie, bezstykowe i niezwykle dokładne pomiary powierzchni zgodnie z normami DIN-ISO oraz standardem SEMI.

Seria MicroProf została zaprojektowana z myślą o klientach przemysłowych i każdym rodzaju badań.

Cechą charakterystyczną jest łatwość obsługi oraz elastyczność układu optycznego, która umożliwia  pomiary  próbek każdego rodzaju w tym próbki o bardzo niskim współczynniku odbicia światła < 0,01% lub próbki pół-przeźroczyste takie jak cienkie warstwy tlenkowe.

Wszystkie urządzenia w serii umożliwiają zautomatyzowany pomiar próbek o następujących wymiarach:

MicroProf100 – 150 mm x 100 mm

MicroProf200 – 250 mm x 200 mm

MicroProf300 – 415 mm x 305 mm

Wszystkie urządzenia z serii MicroProf posiadają zaawansowane metrologiczną głowic pomiarowe, które można wyposażyć w kilka typów sensorów w tym w sensor konfokalny, interferencyjny światła białego oraz sensor konfokalnej aberracji chromatycznej światła białego a także mikroskop sił atomowych.

System MicroProf pracuje w oparciu o autorskie i autonomiczne oprogramowanie FRT MARK III, które zawiera standardowe moduły analityczne potrzebne podczas analizy zebranych danych. 

Doposażenie

Konfokalne sensory aberracji chromatycznej światła białego o różnym zakresie pomiarowym 100 µm, 300 µm, 600 µm, 1000 µm, 3000 µm and 10000 µm

Mikroskop konfokalny (spinning disk) połączony z interferometrem – TopoDT

Mikroskop Interferencyjny WLI-FL

Moduł termiczny pozwalający na pomiar próbki utrzymywanej w temperaturze z zakresu RT -400 OC

Sensory podczerwieni przeznczone do pomiaru grubości warstwy – FRT IRT

Mikroskop sił atomowych AFM

Opcja TTV pozwalająca na jednoczesny pomiar próbki od góry i od dołu dla pomiaru ugięcia oraz grubości podłoża.

Broszura informacyjna do pobrania.

Specjalizujemy się w dziedzinie mikroskopii elektronowej oraz rozwiązaniach dedykowanych do preparatyki próbek mikroskopowych. Skontaktuj się z naszymi specjalistami, w celu doboru optymalnego rozwiązania:

PIK INSTRUMENTS

tel: +48 22 726 74 96

e-mail: kontakt@pik-instruments.pl

ul. Gen. L. Okulickiego 5F

05-500 Piaseczno, Polska

pon-pt: 08:00 – 16:00